质量流量控制器 SEC-400系列
概要
它是搭载有温控阀的基本型号。
利用小型装置的SEC-310，可以进行大于0.1SCCM的微小流量控制。并且，利用SEC-623可以进行小于200SLM的大流量控制。
高精度型号：SEC-405可以进行±0.5％F.S.的流量控制。
特征
可对应±0.5％F.S.：SEC-405(气体种类限定)
同系列产品，从0.1CCM至200SLM(N2)都可进行流量控制
实现面间距离106mm: SEC-300型式
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