质量流量控制器 SEC-E系列
概要
所谓质量流量控制器是一种计测和控制流体流量的装置。流体的流量计测通常可分为体积流量和质量流量。体积流量由于受到计测时环境温度和压力的影响，如需要准确测定时，必须对温度和压力进行调整。而质量流量计在测定流体质量的时候，不容易受到环境温度和压力等外在因素的影响而能准确地进行流体测量。在必须对流量进行精确计测和控制的领域，质量流量控制器被广泛的使用，例如半导体工业、太阳能光电工业和微加工制造业等。
特征
适用于宽广范围的流量控制，其控制范围可以从0.2 SCCM到500 SLM（以N2为标准）
被广泛的使用于全球的制造业，从一般工业到高科技产业。